[发明专利]电容式力学量传感器及其制造方法和包含该传感器的检测装置有效
| 申请号： | 03149581.8 | 申请日： | 2003-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1475782A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 五藤敬介 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;H01L29/84;G01L25/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式力学量传感器，其包含半导体基板(1)、配重(11)、可移动电极(10a)和两个固定电极(15a)。配重(11)被半导体基板(1)可移动地支撑着。可移动电极(10a)与配重(11)形成为一体。固定电极(15a)被半导体基板(1)静止地支撑着。固定电极(15a)面对着可移动电极(10a)，以提供出窄缝隙和宽缝隙，从而形成了具有电容量(CS1)的检测部分(19)。作为对所要检测的力学量的响应，配重(11)和可移动电极(10a)相对于固定电极(15a)移位，从而一个缝隙增大，另一个缝隙减小。力学量是基于电容量(CS1)的变化而检测的。限定宽缝隙的宽缝隙电极表面之一小于限定窄缝隙的窄缝隙电极表面，以提高传感器灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 力学 传感器 及其 制造 方法 包含 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电容式力学量传感器，包括：一个半导体基板(1)；一个配重(11)，其被半导体基板(1)可移动地支撑着；一个第一可移动电极(10a)，其与配重(11)形成为一体；以及两个第一固定电极(15a)，它们被半导体基板(1)静止地支撑着，其中所述第一固定电极(15a)面对着所述第一可移动电极(10a)，以提供出第一窄缝隙和第一宽缝隙，从而形成具有第一电容量(CS1)的第一检测部分(19)，作为对所要检测的力学量的响应，配重(11)和第一可移动电极(10a)相对于第一固定电极(15a)移位，从而一个缝隙增大，另一缝隙减小，所述力学量基于第一电容量(CS1)的变化而被检测出来，并且限定出第一宽缝隙的宽缝隙电极表面之一比限定出第一窄缝隙的窄缝隙电极表面小，以提高传感器灵敏度。
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