[发明专利]基板贴合装置及其方法以及基板检测装置有效
| 申请号： | 03107002.7 | 申请日： | 2003-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1441294A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 荻本真一;增田浩一 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/1339;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板贴合装置(10)，所述装置系具有保持上玻璃基板(1)的上载台(21)和保持下玻璃基板(2)的下载台(22)，在位置对准的状态下，将上玻璃基板(1)和下玻璃基板(2)贴合。其特征在于，所述装置包括：对上下基板(1、2)的位置检测用标记进行摄象的摄象装置(40)；使摄象装置(40)与上下的玻璃基板(1、2)的相对间隔变化的移动装置(52)；求出上下的玻璃基板(1、2)与摄象装置(40)的相对间隔方面的数据用的手段；以及根据相对间隔方面的数据、对移动装置(52)进行控制的控制装置(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 贴合 装置 及其 方法 以及 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基板贴合装置，所述装置系具有保持上基板的上载台和保持下基板的下载台，并在位置对准的状态下，将上基板和下基板贴合的基板贴合装置，其特征在于，所述基板贴合装置包括：对上下基板的至少一方基板的位置检测用标记进行摄象的摄象装置；使摄象装置与该至少一方的基板的相对间隔变化的移动装置；求出该至少一方的基板与摄象装置相对间隔方面的数据用的装置；以及根据相对间隔方面的数据、对移动装置进行控制的控制装置。
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