[发明专利]大尺寸衬底及其制造方法有效
| 申请号： | 03102309.6 | 申请日： | 2003-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN1437045A | 公开（公告）日： | 2003-08-20 |
| 发明（设计）人： | 柴野由纪夫;三原田悟;上田修平;渡部厚;田畑正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133;G02F1/136;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种大尺寸衬底，它具有不小于500mm的对角线长度和不大于6.0×10－6的平面度/对角线长度比率。通过把按照本发明的大尺寸衬底用于曝光，曝光精度被提高，特别是对齐精度和分辨率，因此可能获得大尺寸面板的高精度曝光。通过使用按照本发明的加工方法，有可能稳定获得高平面度的大尺寸光掩模衬底，由于在面板曝光时CD精度(尺寸精度)被提高，有可能执行精细图案的曝光，使面板进入更高的领域。另外，通过应用按照本发明的加工方法，也可能产生任意的表面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 衬底 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸衬底，具有不小于500mm的对角线长度和不大于6.0×10-6的平面度/对角线长度比率。
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