[发明专利]利用散射测量的线路轮廓不对称测量法无效
| 申请号： | 02805890.9 | 申请日： | 2002-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1509404A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·J·雷蒙德 | 申请（专利权）人： | 安格盛光电科技公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于测量微电子器件中的线路轮廓不对称的方法和设备，包括：将光直射向微电子器件的微电子部件阵列；检测从包括从一个或多个反射角和一个或多个波长所组成的组中选择的一个或多个部件的阵列散射回来的光；以及通过检查来自反射的余角的数据或进行模型比较，比较散射回来的光的一个或多个特性。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 散射 测量 线路 轮廓 不对称 | ||
【主权项】：
1、一种用于测量微电子器件中的线路轮廓不对称的方法，所述方法包括以下步骤：将光直射向微电子器件的微电子部件阵列；检测从包括从一个或多个反射角和一个或多个波长所组成的组中选择的一个或多个部件的阵列散射回来的光；以及通过执行从检查来自反射的余角的数据和执行模型比较所组成的组中选择的操作，比较散射回来的光的一个或多个特性。
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