[发明专利]压电功能部件及其制造方法无效
| 申请号： | 02802763.9 | 申请日： | 2002-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN1471736A | 公开（公告）日： | 2004-01-28 |
| 发明（设计）人： | 中谷将也 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/24;G01P9/04;G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的压电功能部件包含基板、基板上的缓冲层、缓冲层上的下部电极层、下部电极上的压电层、压电层上的上部电极层。在压电层上，在其外周面的下部侧形成向外周方向扩展的展开部。在该压电功能部件中，上、下部电极层以及压电层的三种叠层体对基板的粘合强度高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 功能 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电功能部件，其特征在于，包含：基板；在所述基板上方设置的下部电极层；在所述下部电极层上设置的、具有向所述下部电极层侧的外方扩展的展开部的压电层；以及在所述压电层上设置的上部电极层。
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