[发明专利]陶瓷及其制造方法、以及电介质电容器、半导体装置及元件无效
| 申请号： | 02802319.6 | 申请日： | 2002-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1464862A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 名取荣治;木岛健;古山晃一;田崎雄三 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/00 | 分类号： | C01B33/00;H01L27/10;H01B3/12;H01B19/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种陶瓷的制造方法，包括：形成一个具有氧八面体结构的复合氧化物材料与对该复合氧化物材料具有触媒作用的常介电体材料混合存在的膜；之后对该膜进行热处理，所述常介电体材料，由构成元素中含有Si的层状触媒物质，以及构成元素中含有Si及Ge的层状触媒物质构成。所述热处理包括烧结及退火，优选至少该退火在含有氧及臭氧中的一种气体的加压环境下进行。陶瓷是具有氧八面体结构的复合氧化物，该复合氧化物中含有Si及Ge。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 及其 制造 方法 以及 电介质 电容器 半导体 装置 元件 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷，是具有氧八面体结构的复合氧化物，所述氧八面体结构中含有Si及Ge。
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