[发明专利]一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具无效
| 申请号： | 02151295.7 | 申请日： | 2002-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1422978A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吴根柱;齐鸣;李爱珍;张永刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01S5/10 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具,其特征在于采用了非接触固定方式,避免产生机械损伤。该夹具由一个不锈钢板上开有宽度为0.15－0.25mm,间距为2－3mm的多条狭缝而制成。使用时只要把解理条放进狭缝里即可固定。由于狭缝宽度大于解理条厚度而小于解理条宽度,同时采用一种不锈钢板下设有网格的方法,保证解理条从狭缝里掉不下来,所以解理条装在狭缝里始终位于竖立状态,并且端面保持水平朝下方向。由于一个夹具上有多条狭缝,所以由一个夹具一次可以装配好多解理条,并且解理条装卸过程非常容易。另外也很方便实施两个腔面蒸镀,本发明提供的非接触式固定的夹具结构简单、操作简便、安全可靠、加工成本低、使用寿命长、非常适合于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体激光器 腔面蒸镀 接触 固定 方式 夹具 | ||
【主权项】：
1、一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具，其特征在于：(1)夹具由宽度为0.15mm-0.25mm，间距为2mm-3mm的多条狭缝构成，狭缝条数由不锈钢板大小决定，而狭缝长度和不锈钢板大小由需要固定的解理条长度决定；(2)每个狭缝下面至少有二根固定的不锈钢丝支撑，从而形成网格。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02151295.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：建筑物墙体现场安装施工方法
- 下一篇：电热法冶炼生产的炉料造块技术
- 同类专利
- 专利分类
