[发明专利]一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具无效
| 申请号： | 02151295.7 | 申请日： | 2002-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1422978A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吴根柱;齐鸣;李爱珍;张永刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01S5/10 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体激光器 腔面蒸镀 接触 固定 方式 夹具 | ||
【权利要求书】：
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