[发明专利]布线衬底的制造方法无效
申请号: | 02147918.6 | 申请日: | 2002-10-28 |
公开(公告)号: | CN1418050A | 公开(公告)日: | 2003-05-14 |
发明(设计)人: | 伴典高 | 申请(专利权)人: | 日本特殊陶业株式会社 |
主分类号: | H05K1/11 | 分类号: | H05K1/11;H05K3/40 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王维玉,丁业平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种具有通路导体的布线衬底的制造方法,包括以下工序提供具有在衬底表面开口的通路孔的衬底;将衬底连同电极一起以衬底垂直延伸的方式完全浸入电镀液中;以这样的方式在衬底下方部位产生气泡,即产生的气泡边撞击衬底边沿衬底的表面从其下端向上端升起;以及使电流在电极和衬底间流动,从而在通路孔中形成通路导体。 | ||
搜索关键词: | 布线 衬底 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有通路导体的布线衬底的制造方法,包括以下工序:提供具有在衬底表面开口的通路孔的衬底;将衬底连同电极一起以衬底垂直延伸的方式完全浸入电镀液中;以这样的方式在衬底下方部位产生气泡,即产生的气泡边撞击衬底边沿衬底的表面从其下端向上端升起;及使电流在电极和衬底间流动,从而在通路孔中形成通路导体。
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