[发明专利]X光平面检测器

摘要

X光平面检测器，具有：通过入射的X射线进行感光产生信号电荷的X光感光膜；和连接在上述X光感光膜上的二维配置的多个像素电极；和为了于上述X光感光膜内产生的作为信号电荷的空穴和电子中，向上述的多个像素电极收集迁移率高的一方，而向上述X光感光膜施加偏置电压的偏置电压施加单元；和设置在每个上述的像素电极内，蓄积在上述X光感光膜上产生的电荷的多个电容器；和设置在每个上述的像素电极内，读取在上述电容器中蓄积的电荷的多个开关薄膜晶体管；和供给上述多个开关薄膜晶体管开关控制的控制信号的多条扫描线；和连接在上述多个开关薄膜晶体管上，在该开关薄膜晶体管关闭时读取上述电荷的多条信号线。

主权项

1、一种X光平面检测器，包括：通过入射的X光被感光而产生信号电荷的X光感光膜；与前述X光感光膜相连接并二维配置的多个像素电极；向前述X光感光膜施加偏置电压的偏置电压施加单元，使作为上述X光感光膜中产生的信号电荷的空穴和电子中迁移率高的一方收集到上述多个像素电极中；设置在每个前述像素电极中并蓄积所述X光感光膜产生的电荷的多个电容器；设置在每个前述像素电极中并读出所述电容器蓄积的电荷的多个开关薄膜晶体管；提供用于开关控制前述的多个开关薄膜晶体管的控制信号的多个扫描线；连接在前述多个开关薄膜晶体管上的，在前述的开关薄膜晶体管关断时读取前述电荷的多条信号线。