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- [发明专利]X光平面检测器-CN02140023.7有效
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池田光志;铃木公平;金野晃
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株式会社东芝
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2002-09-29
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2003-08-27
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H01L31/00
- X光平面检测器,具有:通过入射的X射线进行感光产生信号电荷的X光感光膜;和连接在上述X光感光膜上的二维配置的多个像素电极;和为了于上述X光感光膜内产生的作为信号电荷的空穴和电子中,向上述的多个像素电极收集迁移率高的一方,而向上述X光感光膜施加偏置电压的偏置电压施加单元;和设置在每个上述的像素电极内,蓄积在上述X光感光膜上产生的电荷的多个电容器;和设置在每个上述的像素电极内,读取在上述电容器中蓄积的电荷的多个开关薄膜晶体管;和供给上述多个开关薄膜晶体管开关控制的控制信号的多条扫描线;和连接在上述多个开关薄膜晶体管上,在该开关薄膜晶体管关闭时读取上述电荷的多条信号线。
- 平面检测器
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