[发明专利]等离子体蒸镀设备防止凝缩装置

摘要

本发明是等离子体蒸镀设备防止凝缩装置。本发明涉及的是等离子体蒸镀装备方面的发明。本发明的结构包括有等离子体蒸镀工作间、驱动材料移动的卷绕机、与冷却套管连接的冷却机、装有液态耐腐蚀原料储藏容器、气体注入管，经热交换后的工作间冷却套管连接一个加热器，加热器与包围在气体注入管外周的外侧管连接。其优点是：由于在气体注入管外周包着高温的外侧管，可对气体注入管进行加热，所以能够防止通过气体注入管向工作间内部输送的六甲基二硅氧烷HMDSO凝缩。经热交换后工作间冷却套管的温水进入加热器加热，使水加热的时间短，节省能源，降低成本，蒸镀厚度的均匀性得到了保证。

主权项

1.一种等离子体蒸镀设备防止凝缩装置，其结构包括内部装有电极的等离子体蒸镀工作间(101)、工作间(101)两侧有驱动带状材料移动的卷绕机(105)和(107)、工作间上侧有与工作间冷却套管(114)连接的冷却机(115)、工作间的下侧有其内部装有液态耐腐蚀原料储藏容器(111)、工作间(101)与储藏容器(111)之间连接有气体注入管(112)，其特征是经热交换后的工作间冷却套管(114)连接一个加热器(117)，加热器(117)与包围在气体注入管(112)外周的外侧管(118)连接。