[发明专利]液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法

摘要

一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法，利用五道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成栅极线。第二道掩膜在覆盖一层栅极绝缘层后，依序沉积半导体层、n型掺杂层和金属层，用以定义金属层/n型掺杂层/半导体层，以形成数据线。第三道掩膜用于在含数据线的透明基板上形成低介电常数绝缘层，且在其中形成露出数据线表面的接触孔开口。第四道掩膜在低介电常数绝缘层上形成透明导电层后，构图出像素电极和具源极图案的透明导电层，并利用此像素电极和具源极图案的透明导电层为掩膜，蚀刻金属层和n型掺杂层。第五道掩膜用于定义保护层。

主权项

1.一种液晶显示装置的有源阵列基板，包括：一透明基板；多条平行于一第一方向的栅极线配置于该透明基板上，且部分突出延伸覆盖多个有源元件区；一栅极绝缘层配置于具有该些栅极线的该透明基板上；一低介电常数绝缘层位于该栅极绝缘层上，该低介电常数绝缘层中具有多个开口大致对应于该些有源元件区；多条垂直于该第一方向的数据线配置于该栅极绝缘层和该低介电常数绝缘层之间，且部分突出延伸至该些开口中，该些栅极线和该些数据线所围绕的多个区域可分为该些有源元件区和多个像素区；多个第一n型掺杂层配置该些数据线下，与该些数据线接触，且与该些数据线的图案相同，位于该些开口中的一侧的附近的该些第一n型掺杂层作为多个源极；多条导线配置于该些开口中的该些源极上方的该些数据线上，其中该些导线为源极图案；多个第二n型掺杂层配置于该些开口中与该些源极相对的另一侧的附近，且作为多个漏极，该些源极和该些漏极之间为多个沟道区；多个漏极电极配置于该些漏极上；一半导体层配置于该些第一n型掺杂层和该些第二n型掺杂层下，且配置于该栅极绝缘层上，该半导体层的图案为该些第一n型掺杂层、该些第二n型掺杂层和该些沟道区的集合图案；多个像素电极配置于该些像素区的该低介电常数绝缘层上，且延伸至该些漏极电极上与该些漏极连接；以及一保护层大致位于该些开口。