[发明专利]罩幕式只读存储器的结构有效
申请号: | 02120061.0 | 申请日: | 2002-05-21 |
公开(公告)号: | CN1459866A | 公开(公告)日: | 2003-12-03 |
发明(设计)人: | 范左鸿;刘慕义;詹光阳;叶彦宏;卢道政 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/112 | 分类号: | H01L27/112 |
代理公司: | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人: | 王学强 |
地址: | 台湾省新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种罩幕式只读存储器的结构,此结构由基底、栅极、第一掺杂区与第二掺杂区所组成的双扩散源极/漏极区、信道区、编码区、介电层、与字线所构成。其中栅极位于基底上。双扩散源极/漏极区位于栅极两侧的基底中,且第二掺杂区位于第一掺杂区外周的基底中。信道区位于双扩散源极/漏极区之间的基底中。编码区位于信道区两侧与双扩散源极/漏极区交界的基底中。介电层位于双扩散源极/漏极区之上。且字线位于介电层与栅极之上。 | ||
搜索关键词: | 罩幕式 只读存储器 结构 | ||
【主权项】:
1.一种罩幕式只读存储器的结构,其特征在于:该结构包括:一基底;一栅极,位于该基底上;一双扩散源极/漏极区,位于栅极两侧的该基底中,其中该双扩散源极/漏极区由位于不同深度,且具有不同掺杂浓度的一第一掺杂区与一第二掺杂区所构成;一信道区,位于该双扩散源极/漏极区之间的该基底中;一编码区,位于该信道区两侧与该双扩散源极/漏极区交界的该基底中;一介电层,位于该双扩散源极/漏极区之上;一字线,位于该介电层与该栅极之上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的