[发明专利]碳纳米管薄膜微机械红外探测器

摘要

本发明公开了一种结构简单,具有极高的分辨率和宽光谱响应范围,灵敏度高,成本低,工艺简单的碳纳米管薄膜微机械红外探测器,包括一定基底材料的微机械,拾取电路,微机械谐振器上生长一层碳纳米管薄膜,作为光辐射吸收材料,由于碳纳米管薄膜对红外辐射的吸收系数η可达0.98,从而使其具有高的灵敏度和小的噪声等效功率,以提高该类探测器的探测能力。微谐振器通过MEMS加工工艺制成,可进行批量生产,从而降低器件的成本。

主权项

1、一种碳纳米管薄膜微机械红外探测器，其特征在于：包括一定基底材料的微机械[1]，拾取电路[3]，在微机械[1]上生长有碳纳米管薄膜[2]；微机械[1]是指微谐振器件，可以是微悬臂梁、微桥和微膜等；微机械谐振器包括基座[4]、辐射窗口[5]、电源[6]、电源连线[7]和电源连线[8]以及输出信号连线[9]和输出信号连线[10]；拾取方法可以是电拾取，也可以是光拾取，电拾取一般是利用硅的压阻效应，在硅微谐振器上制作压敏电阻，与设计的检测电路相连，通过器件谐振时压敏电阻的阻值变化来测试器件的谐振特性；光拾取通常是利用光纤传感器技术实现硅微谐振器的振动测量。