[发明专利]光学式计量装置

摘要

本发明提供一种即使对例如表面反射率不同、在表面上存在凹槽、在表面上存在倾斜面、在表面上存在曲面的这样的计量对像物体上也能使用能高精度的计量断面轮廓线的窄断面光切断法的光学式计量装置。该装置具有取得摄影条件不同的多幅图像的多图像取得装置、图像合成装置,该图像合成装置在每个预先设定的划分的区域从通过多图像取得装置取得的多幅图像中抽出包含满足规定的鲜明度条件的断面轮廓线部分的图像,并通过收集这些抽出的各划分的区域图像而生成包含一连串的断面轮廓部分像;还包括根据包含在由图像合成装置生成的合成图像中的一连串断面轮廓线图像部分像通过进行规定的计量处理而生成计量值和/或判定值。

主权项

1.一种光学式计量装置，其特征在于，装备有：多图像取得装置，该多图像取得装置包括：把来自光源的光整形为窄断面光并以规定角度照射到计量对像物体表面上的照明装置，利用二维摄像元件从与上述窄断面光的照射角度不同的角度对上述计量对像物体表面的窄断面光照射位置进行摄影而获得包含光切断面的断面轮廓线像的图像的摄影装置，通过改变规定影响由上述摄影装置得到的图像的辉度的摄影条件的参数中至少一个值来改变可扫描图像辉度的参数值的改变装置，所述多图像是与上述摄影条件不同的多幅图像；图像合成装置，该图像合成装置在每个预先设定的划分的区域从通过多图像取得装置取得的多幅图像中抽出满足规定的最大辉度条件的划分的区域图像，并通过收集这些抽出的各划分的区域图像生成包含一连串的断面轮廓线部分像的合成图像；根据包含在通过上述图像合成装置生成的合成图像中的一连串的断面轮廓线部分像并通过进行规定的计量处理生成计量值和/或判定值的计量装置。