[发明专利]单片式芯片清洗装置

摘要

一种单片式芯片清洗装置，此装置是由装置本体、一对上滚轮、一对下滚轮与滚轮驱动系统所构成。装置本体的中央具有一芯片入口与一芯片出口，且芯片出口设置于芯片入口的相对侧，其中装置本体内可供储存一溶液，且此溶液不会从芯片入口与芯片出口流出。一对上滚轮与一对下滚轮位于芯片入口与芯片出口之间，用于带动溶液流向一芯片的上表面与下表面，且一对下滚轮与一对上滚轮相距一段距离。滚轮驱动系统连接一对上滚轮与一对下滚轮，用以驱动一对上滚轮与一对下滚轮转动。

主权项

1.一种单片式芯片清洗装置，该装置至少包括：一装置本体，该装置本体的中央具有一芯片入口与一芯片出口，且该芯片出口设置于该芯片入口的相对侧，其中该装置本体内可供储存一溶液，且该溶液不会从该芯片入口与该芯片出口流出；一对上滚轮，该对上滚轮设置于该装置本体中，该对上滚轮位于该芯片入口与该芯片出口之间，用于带动该溶液流向一芯片的上表面；一对下滚轮，该对下滚轮设置于该装置本体中，该对下滚轮位于该芯片入口与该芯片出口之间，用于带动该溶液流向该芯片的下表面，其中该对下滚轮与该对上滚轮相距一段距离；一滚轮驱动系统，该滚轮驱动系统连接该对上滚轮与该对下滚轮，用以驱动该对上滚轮与该对下滚轮转动。