[发明专利]防止气体逆流的转接器及方法有效
| 申请号： | 02106003.7 | 申请日： | 2002-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1448990A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 温武彰 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/205 | 分类号： | H01L21/205;H01L21/285;C23C16/52;C23C16/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省新竹市 *** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明有关一种防止气体逆流的转接器及其方法。该转接器具有：一外管，其侧壁上形成有一进气口；以及一内管，它套入于该外管的内，其侧壁的相对于该外管进气口的位置形成有一环状内凹。该方法是应用于一具有一外管与一内管的转接器上，包括以下步骤：(a)提供惰性气体，并注入于该外管的进气口内；(b)该氮气通过该内管的环状内凹使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间；以及(c)该惰性气体于该转接器的一端形成气瀑，以防止该气体逆流。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 气体 逆流 转接 方法 | ||
【主权项】：
1.一种防止气体逆流的转接器，其特征在于，包括：一外管，其侧壁上形成有一进气口；以及一内管，它套入于该外管内，其侧壁的相对于该外管进气口的位置形成有一环状内凹。
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