[发明专利]采用白光干涉测量法的检验系统和方法无效
| 申请号： | 01823945.5 | 申请日： | 2001-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1592841A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | S·马图尔;C·－Y·常 | 申请（专利权）人： | 半导体技术及器械公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/956;H05K13/08;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;梁永 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种用于检验元件的系统。该系统包括例如从俯视带凸块晶片的顶部的位置产生元件的图像数据的图像数据系统。干涉测量检验系统连接到图像数据系统并接收图像数据，以及分析图像数据以定位用来确定块形接触件的表面坐标的干涉带。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 白光 干涉 测量 检验 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检验元件的系统，包括：产生图像数据的图像数据系统；以及连接到所述图像数据系统的干涉测量检验系统，所述干涉测量检验系统接收所述图像数据，并根据采用干涉测量法产生的表面坐标数据来产生检验合格/不合格数据。
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