[发明专利]采用白光干涉测量法的检验系统和方法无效
| 申请号： | 01823945.5 | 申请日： | 2001-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1592841A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | S·马图尔;C·－Y·常 | 申请（专利权）人： | 半导体技术及器械公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/956;H05K13/08;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;梁永 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 白光 干涉 测量 检验 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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