[发明专利]折射反射光学系统和具有该折射反射光学系统的曝光装置有效
| 申请号： | 01817861.8 | 申请日： | 2001-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1535392A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 高桥友刀 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种折射反射光学系统，具有：第一成像光学系统，至少具有两个反射镜，根据来自第一面的光形成第一面的第一中间像；第二成像光学系统，至少具有两个反射镜，根据通过第一成像光学系统的光形成第一面的第二中间像；和折射型第三成像光学系统，根据通过第二成像光学系统的光在第二面上形成第一面的最终像；构成第一成像光学系统、第二成像光学系统和第三成像光学系统的全部光学元件沿着单一直线光轴配置。 | ||
| 搜索关键词： | 折射 反射 光学系统 具有 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种折射反射光学系统，具有：第一成像光学系统，至少具有两个反射镜，根据来自第一面的光形成上述第一面的第一中间像；第二成像光学系统，至少具有两个反射镜，根据通过上述第一成像光学系统的光形成上述第一面的第二中间像；和折射型第三成像光学系统，根据通过上述第二成像光学系统的光在第二面上形成上述第一面的最终像；构成上述第一成像光学系统、上述第二成像光学系统和上述第三成像光学系统的全部光学元件沿着单一直线光轴配置。
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