[发明专利]制造半导体器件的方法及其半导体器件有效
| 申请号： | 01811030.4 | 申请日： | 2001-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1436367A | 公开（公告）日： | 2003-08-13 |
| 发明（设计）人： | 威廉·C·匹特曼;埃里克·S·约翰逊;阿道尔夫·C·瑞业斯 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | H01L21/337 | 分类号： | H01L21/337;H01L29/80 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种制造半导体器件的方法包括提供具有表面(119)的基片(110)，在基片的表面上提供由未掺杂的砷化镓所构成的层面(120)，在该层面的第一部分上形成栅接头(210)，以及除去该层面的第二部分。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 半导体器件 方法 及其 | ||
【主权项】：
1.一种制造半导体器件的方法，其中包括：提供具有表面(119)的基片(110)；在基片的表面上提供由未掺杂的砷化镓所构成的层面(120)；在该层面的第一部分上形成栅接头(210)；以及除去该层面的第二部分以暴露基片表面的一部分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于摩托罗拉公司，未经摩托罗拉公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01811030.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种污水深度处理回用工艺
- 下一篇：超高压低速送进控制系统
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
