[发明专利]带有多轴转动控制的光学反射镜系统

摘要

本发明公开了一种带有多轴转动控制的光学反射镜系统。该光学反射镜系统包括一个光学面组件以及至少一个跟该光学面组件相连接的支杆组件。这至少一个支杆组件在基片上方支承该光学面。依本发明提供的系统和方法可以借助许多不同的传动机构工作，包括(但不限于)静电的、热的、压电的、以及磁性的传动机构。依本发明提供的光学反射镜系统可以适应大反射镜和转角的需要。可以采用这样的技术制造扫描反射镜：标准的表面显微机械加工工艺，或深度活性离子蚀刻工艺。依本发明提供的设备满足可直接定标的、高端口计数光开关的要求，这是利用每一光输入/输出端口结构有一个双向回转的反射镜来达到的。依本发明提供的光学反射镜可以(但不限于)在以下一些应用场合使用：光学分插复用器，波长路由器，无间隔光学互连，芯片水平光输入/输出，光扫描显示，光扫描器(条码，微型摄影机)，光存储读写头，激光打印机，医用玻璃代用件(与自适应光学系统配套)，医学诊断设备，保安用光扫描。

主权项

1.一种光学反射镜系统，包括：一个光学面组件；以及至少一个支杆组件，它跟该光学面组件相连接，以便在基片上方支承该光学面。