[发明专利]整合型化学机械式研磨无效
| 申请号： | 01807599.1 | 申请日： | 2001-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1422200A | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | 布拉德利·J·斯塔利;格雷戈里·H·博古什;杰弗里·P·张伯伦;保罗·M·菲尼;艾丽西亚·F·沃尔特斯;史蒂文·K·格鲁比恩;布赖恩·L·米勒;戴维·J·施罗德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 贾静环,宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种使用多组分研磨和/或清洁组合物研磨和/或清洁基材的方法，其中研磨和/或清洁组合物的组分在使用点或恰在输送至使用点之前混合。本发明还提供了一种使用单一装置同时研磨和/或清洁超过一个基材的方法，其中将不同的研磨或清洁组合物输送至各基材。 | ||
| 搜索关键词： | 整合 化学 机械式 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种同时研磨和/或清洁二个或多个基材的方法，包含(i)提供二个或多个基材，(ii)提供二个或多个储存装置，每个储存装置含有为多组分研磨和/或清洁组合物的组分，(iii)将研磨和/或清洁组合物的组分由二个或多个储存装置输送至各基材，及(iv)同时研磨和/或清洁二个或多个基材，其中输送至至少两个基材的研磨和/或清洁组合物不同，而且具有至少一种由相同的储存装置输送的共同组分。
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