[实用新型]一种高温下不变形钨丝加热装置及专用的钨丝绕制支架

摘要

一种高温下不变形钨丝加热装置,包括石英管腔体9、钨丝加热部分和样品台10,其中钨丝加热部分由扁平螺线管状加热钨丝1、紧固钨丝2、悬挂钨丝3、氮化硼陶瓷杆4、固定用陶瓷5和铜电极8组成。相关联地采用一种高温下不变形钨丝加热装置中专用的钨丝绕制支架,钨丝绕制支架包括定型架6和定位块7两个部分,钨丝绕制形状和间距能一次成型,宽度可调并能很方便地从绕制支架上取下。采用不变形钨丝加热装置后,热解化学气相沉积(CVD)小型系统的衬底温度在较大范围内保持均匀,膜成核和生长均匀;功耗和气耗低;钨丝使用寿命长;设备相对简单,操作简单省时。

主权项

1.一种高温下不变形钨丝加热装置及专用的钨丝绕制支架，包括石英管腔体、钨丝加热部分和样品台，其特征在于：钨丝加热部分由扁平螺线管状加热钨丝(1)、紧固钨丝(2)、悬挂钨丝(3)、氮化硼陶瓷杆(4)和固定用陶瓷(5)组成。