[实用新型]一种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置无效
| 申请号： | 01218242.7 | 申请日： | 2001-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN2475740Y | 公开（公告）日： | 2002-02-06 |
| 发明（设计）人： | 何萌;周岳亮;陈正豪;崔大复;许加迪;王淑芳;吕惠宾;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及制备大面积薄膜技术领域。本实用新型由加热器底座、台阶型的旋转加热板、样品固定片、齿轮等组成。采用加热板带动基片旋转的方法，可以制得均匀的薄膜。本实用新型加热面积大且均匀，所制备的薄膜各点性能优良且一致。本实用新型结构简单，易于加工，使用方便，价格低廉，且适于各种薄膜的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 大面积 薄膜 自动 旋转 加热 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置，其特征在于：由加热器底座(1)、台阶型的旋转加热板(2)、样品固定片(4)、齿轮(5)组成；台阶型的旋转加热板(2)安放在加热器底座(1)的凹槽内；加热器底座(1)垂直放置于真空室(8)内上下两个电极上；旋转加热板(2)做成圆形，其周边有齿轮使其在加热器底座内自由旋转而不掉出；齿轮(5)与加热板的齿轮咬合安装；圆形基片(3)放置在加热板的圆形台阶(17)上；旋转加热板(2)两端有两个小的样品固定片(4)，螺钉穿过两端的样品固定片插入固定槽(16)中来固定基片；真空室(8)外的步进电机(7)带动磁耦合转轴(6)旋转，磁耦合转轴(6)带动齿轮旋转，而齿轮又带动加热板(2)旋转。
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