[发明专利]陶瓷生片的制造方法及所用的激光束机无效
| 申请号： | 01138452.2 | 申请日： | 2001-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1355669A | 公开（公告）日： | 2002-06-26 |
| 发明（设计）人： | 山本高弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H05K3/42 | 分类号： | H05K3/42;B23K26/00;B23K26/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了陶瓷生片的制造方法和所用的激光束机,以在陶瓷生片的预定位置有效形成有所需形状和尺寸的多个穿孔。通过进行以下步骤构形的激光束通过衍射光栅分割成多束激光束,使单束0级衍射束的能量变成等于或小于陶瓷生片加工所需阈值能量;用电流镜反射分割的激光束;用会聚透镜单独会聚反射的激光束;和激光束辐射到陶瓷生片,可防止0级和更高级的衍射束加工陶瓷生片,从而同时形成有所需形状和尺寸的多个穿孔。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 制造 方法 所用 激光束 | ||
【主权项】：
1、一种陶瓷生片的制造方法，其中，在陶瓷生片中形成多个穿孔，该方法包括以下步骤：激光束源发射的激光束通过掩模整形成预定形状；整形的激光束通过衍射光栅分割成多束激光束，使单束0级衍射束的能量变成等于或小于陶瓷生片加工所需阈值能量；用电流镜反射被衍射光栅分割的激光束；用会聚透镜单独会聚被电流镜反射的激光束；用会聚透镜会聚的激光束辐射陶瓷生片，在陶瓷生片的预定位置中形成同时具有所需形状和尺寸的多个穿孔；和之后，改变电流镜的反射角度，重复使激光束辐射陶瓷生片，在陶瓷生片上不同的预定位置形成有所需形状和尺寸的多个穿孔。
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