[发明专利]利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置无效
| 申请号： | 01136362.2 | 申请日： | 2001-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN1412340A | 公开（公告）日： | 2003-04-23 |
| 发明（设计）人： | 尹东植 | 申请（专利权）人： | 乐金电子(天津)电器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 天津市才智有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 30040*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，是在于对于配置有多个电极的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备上设有电极固定装置，固定板在上述装备的工程间内侧以相隔一定间隔固定电极的两端，上述固定板中的至少有一侧配置保持电极的张力的张力维持部。如上所述，本发明利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置的电极下端被固定，上端通过张力维持手段总是保持一定强度的张力。由于持续的等离子体放电导致电极发生变形，通过张力维持手段拉电极，使电极始终保持原来的状态，生成同样的放电空间，防止由于电极变形导致的品质问题发生。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 等离子体 高分子 连续 装备 电极 固定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备的电极固定装置，其特征在于在配置有多个电极的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装备中，固定板在上述装备的工程间内侧以相隔一定间隔固定电极的两端，上述固定板中的至少有一侧配置保持电极的张力的张力维持部。
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