[发明专利]以石墨加热炉为热源的改进化学汽相沉积法有效
申请号: | 01133608.0 | 申请日: | 2001-10-29 |
公开(公告)号: | CN1123648C | 公开(公告)日: | 2003-10-08 |
发明(设计)人: | 何珍宝;程铭;张穆 | 申请(专利权)人: | 长飞光纤光缆有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46 |
代理公司: | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人: | 王和平 |
地址: | 430073*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种以石墨加热炉为热源的改进的化学气相沉积法,其特征是:它是以石墨加热炉为热源,采用改进的化学气相沉积法来制造光纤预制棒,它包括以下步骤:A由反应的原料发生沉积反应生产出沉积衬管;B将沉积衬管熔缩成实心的芯棒。它解决了现有方法以氢氧焰为热源,因长期使用氢气而存在的巨大安全隐患和影响光纤性能的问题。本发明改善了光纤预制棒的性能,也改善了光纤的性能,提高了沉积速率,节约了设备投资费用与运行费用,具有很大的经济效益。 | ||
搜索关键词: | 石墨 加热炉 热源 改进 化学 沉积 | ||
【主权项】:
1、一种以石墨加热炉为热源的改进的化学汽相沉积法,其特征是:它是以石墨加热炉为热源,采用改进的化学汽相沉积法来制造光纤预制棒,它包括以下步骤:A由反应的原料发生沉积反应生产出沉积衬管;B将沉积衬管熔缩成实心的芯棒。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的