[发明专利]具有可替换内壁的反应器的冷却系统有效
| 申请号： | 01125070.4 | 申请日： | 2001-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1400337A | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 董克伟 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;F27D9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种适用于具有可替换的内壁的反应器的冷却系统，它包括气体调节温度总成、气体供应总成与气体控制总成。气体调节温度总成位于内壁与反应器侧壁之间，而气体供应总成与气体调节温度总成相连接，并供应气体调节温度总成运作所需的气体，而气体控制总与气体供应总成相连接，并控制自气体供应总成进入气体调节温度总成的气体的流量与流速，而得到实时温调整温度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 替换 内壁 反应器 冷却系统 | ||
【主权项】：
1.一种适用半导体制程的具有可替换内壁的反应器的冷却系统，其特征在于，至少包括：一气体调节温度总成，它位于所述内壁与所述反应器的一侧壁之间：一气体供应总成，它与所述气体调节温度总成相连接，并供应所述气体调节温度总成运作所需的气体；以及一气体控制总成，它与所述气体供应总成相连接，并控制自所述气体供应总成进入所述气体调节温度总成的所述气体的流量与流速。
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