[发明专利]非晶形硬碳膜,机械部件及生产非晶形硬碳膜的方法有效
| 申请号： | 01121264.0 | 申请日： | 2001-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1328172A | 公开（公告）日： | 2001-12-26 |
| 发明（设计）人： | 诸贯正树 | 申请（专利权）人： | 株式会社理研 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周慧敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 当金属氧化物被包含在膜内时,非晶形硬碳膜从滑动开始便具有低摩擦系数。膜与基底的粘附力由于RF等离子体增强CVD方法的低温处理也被提高。该膜能用于许多在恶劣条件下使用的滑动件上,如活塞环,压缩机翼片和燃油喷射泵柱塞。 | ||
| 搜索关键词： | 晶形 硬碳膜 机械 部件 生产 方法 | ||
【主权项】：
1.主要含有碳和氢的非晶形硬碳膜，其特征在于该膜内还含有金属氧化物。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
