[发明专利]电子发射器件和电子源及其成象装置和它们的制造方法无效
| 申请号： | 01101523.3 | 申请日： | 1996-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1312574A | 公开（公告）日： | 2001-09-12 |
| 发明（设计）人： | 河出一佐哲;山野边正人;山本敬介;浜元康弘;三留正则 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨国旭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电子发射器件包含一对装在基片上的电极和连接该电极的导电薄膜并在其中具有电子发射区。该电子发射区包含具有小于50nm的均匀宽度的裂缝并最好显示出小于5nm的电压适用长度。包含多个这种电子发射器件的电子源能够实现均匀的电子束发射,并且包含这种电子源的成象装置适用于高清晰度的图象显示。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 发射 器件 及其 成象 装置 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
1．一种制作包含多个电子发射器件的电子源的方法，包括：(a)一个用于在基片上安置多个导电膜的步骤；(b)一个用于以预定的间隔多次把电压施加到所述导电膜上的激励步骤，借此在所述导电膜中形成一个缝隙，其中所述激励步骤是在一种含有活性物质的气氛中，或一种含有用于促进导电膜粘合的物质的气氛中，进行的；和在所述激励步骤，在一个把电压加到所述导电膜之一上的间隔期间，把电压加到所述导电膜中的另一个膜上。
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