[发明专利]高温热流光刻制造方法有效
| 申请号： | 01101385.0 | 申请日： | 2001-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1363859A | 公开（公告）日： | 2002-08-14 |
| 发明（设计）人： | 黄义雄;张峰源;赖建文;陈桂顺 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种高温热流光刻制造方法,其包括首先提供一高温热流光致抗蚀剂,之后于高温热流光致抗蚀剂中加入一交联试剂,以形成一高温热流交联光致抗蚀剂。接着,提供一基底,且其上形成有一绝缘层。继之,在绝缘层上,形成一高温热流交联光致抗蚀剂层。续之,依序进行一曝光制造工艺、一显影制造工艺以及一热流制造工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 热流 光刻 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高温热流光刻制造方法，其包括：提供一高温热流光致抗蚀剂；在该高温热流光致抗蚀剂中加入一交联试剂，以形成一高温热流交联光致抗蚀剂；提供一基底，该基底上形成有一绝缘层；在该绝缘层上，形成一高温热流交联光致抗蚀剂层；进行一曝光制造工艺；进行一显影制造工艺；以及进行一热流制造工艺。
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