[发明专利]高温热流光刻制造方法

权利要求书

1.一种高温热流光刻制造方法，其包括：

提供一高温热流光致抗蚀剂；

在该高温热流光致抗蚀剂中加入一交联试剂，以形成一高温热流交联光致抗蚀剂；

提供一基底，该基底上形成有一绝缘层；

在该绝缘层上，形成一高温热流交联光致抗蚀剂层；

进行一曝光制造工艺；

进行一显影制造工艺；以及

进行一热流制造工艺。

2.如权利要求1所述的高温热流光刻制造方法，其中该交联试剂包括具有羟基苯甲酸结构的一聚合物。

3.如权利要求1所述的高温热流光刻制造方法，其中该热流制造工艺的温度为摄氏150度至160度之间。

4.如权利要求1所述的高温热流光刻制造方法，其中该高温热流交联光致抗蚀剂中所含的该交联试剂为2％至5％之间。

5.一种提高高温热流光刻制造工艺的制造工艺裕度的方法，其包括：

提供一基底，该基底上形成有一绝缘层；

在该绝缘层上，形成一光致抗蚀剂层，其中该光致抗蚀剂层中含有具多个交联官能团的一聚合物；

进行一软烤制造工艺；

进行一曝光制造工艺；

进行一硬烤制造工艺；

进行一显影制造工艺；以及

进行一高温制造工艺，以使该光致抗蚀剂产生热流以及使该聚合物产生交联作用。

6.如权利要求5所述的提高高温热流光刻制造工艺的制造工艺裕度的方法，其中该些交联官能团包括羧基。

7.如权利要求5所述的提高高温热流光刻制造工艺的制造工艺裕度的方法，其中该聚合物包括具有羟基苯甲酸结构的一聚合物。

8.如权利要求5所述的提高高温热流光刻制造工艺的制造工艺裕度的方法，其中该高温制造工艺的温度为摄氏150度至160度之间。

9.如权利要求5所述的提高高温热流光刻制造工艺的制造工艺裕度的方法，其中该高温热流交联光致抗蚀剂中所含的该交联试剂为2％至5％之间。