[发明专利]具有氦吹洗窄线装置的高功率气体放电激光器有效

专利信息
申请号: 00816396.0 申请日: 2000-11-22
公开(公告)号: CN1402897A 公开(公告)日: 2003-03-12
发明(设计)人: W·N·帕特罗;R·L·桑德斯特罗姆;R·F·塞布尔斯基;I·V·弗门科夫;A·I·叶尔绍夫 申请(专利权)人: 西默股份有限公司
主分类号: H01S3/22 分类号: H01S3/22
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 沈昭坤
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种光栅基窄线装置用的氦气吹洗,用以使在高重复速率下产生高能激光束的窄线激光器中的热失真减至最少。申请者们业已表明,和先前技术中的氮吹洗相比,氦吹洗在性能上有明显的改进。在较佳实施例中氦气流对着光栅面(16)直接越过。在其他实施例中使吹洗气压降低以减小热气体层的光学影响。
搜索关键词: 具有 氦吹洗窄 线装 功率 气体 放电 激光器
【主权项】:
1.用于产生高能激光束的窄线激光器的光栅基窄线装置,其特征在于,所述装置包含:(A)限定光栅面的光栅,(B)至少放置所述光栅的小室,(C)为吹洗所述小室提供氦吹洗的氦气源,(D)扩展来自所述激光器的束以产生扩展束的束扩展装置,(E)调准装置,用以引导所述扩展束至光栅面以使从所述扩展束中选出所需的波长范围。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西默股份有限公司,未经西默股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/00816396.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top