[发明专利]微螺线管及其制造方法

摘要

在层叠于衬底(1)上的绝缘材料(13)上涂敷光敏材料(图16A),接着利用具有能沿着圆环在100%至0%之间连续控制透光率的遮光膜的掩模进行曝光与显影,以便形成螺旋形的光敏材料(图16B)。进行高温处理后,通过刻蚀使光敏材料下面的绝缘材料形成螺旋形状(图16C)。在该衬底上层叠金属(12)(图16D),并涂敷光敏材料(图16E)。利用具有透光率0%的圆环遮光膜的掩模对该光敏材料进行曝光与显影,只留下覆盖在螺旋构造基底上的金属上的光敏材料(图16F)。在进行了高温处理并将露出的金属刻蚀后(图16G),除去光敏材料(图16H)。

主权项

1.一种横向微螺线管的制造方法，其中形成于衬底上的横向螺旋线圈的截面分为两部分：上半部与下半部，这些部分通过下列步骤A至D形成，所述方法包括：步骤A：在所述衬底上涂敷光敏材料，使用掩模将所述光敏材料曝光并显影，该掩模的矩形图案的外侧有遮光膜而内侧无遮光膜，以便将所述矩形图案转移至所述光敏材料并去除所述矩形图案内侧的光敏材料，接着各向同性地刻蚀被除去光敏材料的矩形图案区域的衬底表面的露出部分，以便在半圆形的下半部形成矩形的凹槽截面形状；步骤B：在所述步骤A中形成的所述凹槽部分形成所述螺旋线圈下半部的金属布线；步骤C：在所述步骤B中形成的金属布线上层叠绝缘材料，使构成所述螺旋线圈的所述内部部分的截面跟所述的圆直径相等，并涂敷光敏材料直至其厚度等于具有所述圆形截面的所述内部部分的半径，用掩模曝光并显影所述光敏材料，该掩模的矩形图案内侧有遮光膜而其外侧无遮光膜，矩形图案的短边宽度跟构成所述螺旋线圈的内部部分截面的圆直径相等，以将所述矩形图案转移至所述光敏材料并将矩形图案外侧的光敏材料除去，然后通过加热熔化在所述圆形的上半部形成所述光敏材料的截面形状，然后经由干式刻蚀将所述底层材料与所述光敏材料一起刻蚀，使所述光敏材料的截面形状转移至所述底层材料，形成圆柱部分，该圆柱部分成为所述螺旋线圈的内部部分，其上有位于形成于所述下半部的金属布线内侧的绝缘材料；以及步骤D：在步骤C中所形成的圆筒部的外周面上形成所述螺旋线圈上半部的金属布线。