[发明专利]微螺线管及其制造方法

权利要求书

1.一种横向微螺线管的制造方法，其中形成于衬底上的横向螺旋线圈的截面分为两部分：上半部与下半部，这些部分通过下列步骤A至D形成，所述方法包括：

步骤A：在所述衬底上涂敷光敏材料，使用掩模将所述光敏材料曝光并显影，该掩模的矩形图案的外侧有遮光膜而内侧无遮光膜，以便将所述矩形图案转移至所述光敏材料并去除所述矩形图案内侧的光敏材料，接着各向同性地刻蚀被除去光敏材料的矩形图案区域的衬底表面的露出部分，以便在半圆形的下半部形成矩形的凹槽截面形状；

步骤B：在所述步骤A中形成的所述凹槽部分形成所述螺旋线圈下半部的金属布线；

步骤C：在所述步骤B中形成的金属布线上层叠绝缘材料，使构成所述螺旋线圈的所述内部部分的截面跟所述的圆直径相等，并涂敷光敏材料直至其厚度等于具有所述圆形截面的所述内部部分的半径，用掩模曝光并显影所述光敏材料，该掩模的矩形图案内侧有遮光膜而其外侧无遮光膜，矩形图案的短边宽度跟构成所述螺旋线圈的内部部分截面的圆直径相等，以将所述矩形图案转移至所述光敏材料并将矩形图案外侧的光敏材料除去，然后通过加热熔化在所述圆形的上半部形成所述光敏材料的截面形状，然后经由干式刻蚀将所述底层材料与所述光敏材料一起刻蚀，使所述光敏材料的截面形状转移至所述底层材料，形成圆柱部分，该圆柱部分成为所述螺旋线圈的内部部分，其上有位于形成于所述下半部的金属布线内侧的绝缘材料；以及

步骤D：在步骤C中所形成的圆筒部的外周面上形成所述螺旋线圈上半部的金属布线。

2.一种横向微螺线管的制造方法，其中形成于衬底上的横向螺旋线圈的截面分为两部分：上半部与下半部，这些部分通过下列步骤A至D形成，所述方法包括：

步骤A：在所述衬底上涂敷光敏材料，使用掩模A将所述光敏材料曝光并显影，以便在一正圆的下半部形成所述光敏材料的截面形状，然后经由干式刻蚀将一种底层材料与所述光敏材料一起刻蚀，使所述光敏材料的截面形状转移至所述底层材料，由此在所述正圆的下半部上形成所述凹槽的截面形状；

步骤B：在所述步骤A中形成的所述凹槽部分上形成所述螺旋线圈下半部的金属布线；

步骤C：在所述步骤B中形成的金属布线上层叠绝缘材料，使构成所述螺旋线圈的所述内部部分的截面跟一正圆的直径相等，进而涂敷一定厚度的光敏材料使其截面等于所述正圆的所述内部部分的半径，再用掩模B曝光并显影形成一圆柱部分，该圆柱部分与形成于所述螺旋线圈的下半部的金属布线的内侧的绝缘材料一起构成所述螺旋线圈的内部部分，；以及

步骤D：在所述步骤C中所形成的圆柱部分的外周面上形成所述螺旋线圈上半部的金属布线；

所述掩模A用以在衬底上形成具有半个正圆的截面的凹槽，在100％透光的玻璃上，使凹槽宽度以外的部分形成透光率为0％的遮光膜，并以所述凹槽的最深位置作为中央，使透光率为0％的遮光膜的内侧朝向中央，形成一种透光率可从0％至100％连续控制的遮光膜；而所述掩模B上有能够以跟所述掩模A相反的关系控制透光率的遮光膜，以便用绝缘材料在所述衬底上形成突出的截面为半个正圆的圆柱部分。

3.一种纵向微螺线管的制造方法，它包括如下步骤：

步骤A：在衬底上层叠绝缘材料，且在其上涂敷光敏材料，使用掩模C将所述光敏材料曝光并显影，以便形成螺旋状光敏材料；

步骤B：在所述步骤A后，进行高温处理使所述光敏材料固化，再进行刻蚀使所述光敏材料下的绝缘材料形成螺旋状，并在该衬底上层叠金属；

步骤C：在所述步骤B后，涂敷光敏材料，使用掩模D将所述光敏材料曝光和显影，只留下覆盖在所述螺旋结构基底的金属上的所述光敏材料；以及

步骤D：在所述步骤C后，进行高温处理，刻蚀露出的所述金属，然后将所述光敏材料去除；

所述掩模C为这样的掩模，它在100％透光的玻璃上形成能使透光率沿着圆环从100％至0％连续控制的遮光膜；而所述掩模D为透光率为0％的圆环状遮光膜。