[发明专利]抛光垫及其形成的方法无效
| 申请号： | 00803969.0 | 申请日： | 2000-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN1341049A | 公开（公告）日： | 2002-03-20 |
| 发明（设计）人： | 国强·D·张;拉尔夫·V·沃格尔格桑;格雷戈里·波茨;亨利·F·埃克 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D11/06;B24D13/12;B24D13/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张兆东 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于将第一抛光垫(20)与第二抛光垫(22)连接在一起以形成抛光机用的较大的垫(10)之方法,该抛光机完成硅片的化学－机械式抛光。该方法包括将第一抛光垫(20)放在一表面上并将第二垫(22)放在该表面上使第二垫(22)的一部分盖在第一垫(20)的一部分上面,形成一搭接区域(36)。将第一和第二垫(20、22)在搭接区域内切穿以形成第一垫(20)上的第一切边(44)和第二垫(22)上的第二切边(46),第一和第二切边(44、46)的形状是互补的。使第一和第二切边(44、46)接合,并将第一垫(20)在第一和第二切边(44、46)处连接于第二垫(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.用于将第一抛光垫与第二抛光垫连接在一起以形成抛光机用的较大的垫之方法，该抛光机完成硅片的化学—机械式抛光，该方法包括：将第一抛光垫放在一表面上；将第二垫放在该表面上使第二垫的一部分盖在第一垫的一部分上面，形成一搭接区域；在搭接区域内切穿第一和第二垫以形成第一垫上的第一切边和第二垫上的第二切边，第一和第二切边的形状是互补的；使第一和第二切边接合；以及将第一垫在第一和第二切边处连接于第二垫。
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