[发明专利]抛光垫及其形成的方法

权利要求书

1.用于将第一抛光垫与第二抛光垫连接在一起以形成抛光机用的较大的垫之方法，该抛光机完成硅片的化学—机械式抛光，该方法包括：

将第一抛光垫放在一表面上；

将第二垫放在该表面上使第二垫的一部分盖在第一垫的一部分上面，形成一搭接区域；

在搭接区域内切穿第一和第二垫以形成第一垫上的第一切边和第二垫上的第二切边，第一和第二切边的形状是互补的；

使第一和第二切边接合；以及

将第一垫在第一和第二切边处连接于第二垫。

2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，使用一切削工具完成切割步骤，该切割工具在切割过程中相对于表面保持一大体上不变的倾斜角，从而对切割的全长以不变的角度形成第一切边和第二切边。

3.按照权利要求2所述的方法，其特征在于，以倾斜角为锐角来完成切割步骤，沿大体上与第二方向相反的第一方向进行切割，该第二方向为在抛光机操作过程中期望抛光流体在表面上流动的方向，从而使第一和第二切边离开第二方向倾斜以便防止抛光流体在第一和第二切边之间通过。

4.按照权利要求2所述的方法，其特征在于，倾斜角相对于表面在45°与60°之间。

5.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：还包括将第一和第二垫紧压在表面上一定时间的步骤以使第一垫上的第一切边与第二垫上的互补的第二切边粘合成平面的形式而不用任何涂敷的衬料，从而将两垫连接在一起。

6.按照权利要求5所述的方法，其特征在于，紧压的步骤是在施加至少约1500dN的力待至少约一小时的时间时完成的。

7.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，将该方法完成至少一次以形成覆盖双面抛光机的下表面的抛光垫，并且再重复至少一次以形成覆盖抛光机的上表面的抛光垫，从而形成抛光机的两表面用的垫。

8.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，放置第一抛光垫的步骤包括将第一垫连接于表面，并且放置第二抛光垫的步骤包括将第二垫总体上邻接于第一垫连接于该表面。

9.覆盖对硅片完成化学—机械式抛光的抛光机的工作台之组合抛光垫，该组合垫由至少两个邻接的抛光垫形成，该组合垫包括：

由抛光材料构成的第一垫，该第一垫是平面的并具有至少一个斜切的边缘并沿该边缘的全长倾斜一大体上不变的角度；以及

由抛光材料构成的第二垫，该第二垫是平面的并具有至少一个斜切的边缘并沿该边缘的全长倾斜一大体上不变的角度，该角度互补于第一垫的斜切边缘的角度；

两斜切的边缘在总体上面对面接合并在一接缝处连接在一起，组合垫的一表面连续通过接缝。

10.按照权利要求9所述的抛光垫，其特征在于各斜切的边缘粘合在一起而其接缝没有任何涂敷的粘合材料。

11.按照权利要求9所述的抛光垫，其特征在于各斜切的边缘是相互对齐的。

12.按照权利要求9所述的抛光垫，其特征在于，所述第一垫和第二垫总体上成形为圆环形状，所述接缝基本上位于圆的一直径上。

13.按照权利要求9所述的抛光垫，其特征在于所述第一垫和第二垫由聚氨酯和聚酯制成。