[发明专利]阶梯状衍射光栅及光波导元件无效
| 申请号： | 00801600.3 | 申请日： | 2000-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1319191A | 公开（公告）日： | 2001-10-24 |
| 发明（设计）人： | 中村浩一郎;堀雅宏;山本博章 | 申请（专利权）人： | 日本板硝子株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种可以低成本制造且耐热性优良的阶梯状衍射光栅,和耐热性高、对近红外区的通信波长吸收少、可满足可靠性和光通信波段的低损失的要求的光波导。该阶梯状衍射光栅,由在基板及其表面上形成的1μm～1mm厚的有机聚硅氧烷膜构成,该有机聚硅氧烷膜上形成有多个具有1μm～500μm范围内的预定宽度和5～500μm范围内的预定高度的阶梯,上述有机聚硅氧烷膜以下式(1)表示的二甲基硅氧烷和下式(2)表示的苯基硅氧烷为主要成分,(CH3)2SiO2/2…(1)；PhSiO3/2…(2)其中P是苯基或取代苯基。 | ||
| 搜索关键词： | 阶梯 衍射 光栅 波导 元件 | ||
【主权项】：
1．一种阶梯状衍射光栅，由在基板及其表面上形成的1μm～1mm厚的有机聚硅氧烷膜构成，该有机聚硅氧烷膜上形成有多个具有1μm～500μm范围内的预定宽度和5～500μm范围内的预定高度的阶梯，上述有机聚硅氧烷膜以下述化学式(1)表示的二甲基硅氧烷和下述化学式(2)表示的苯基硅氧烷为主要成分，(CH3)2SiO2/2…(1)PhSiO3/2…(2)其中P是苯基或取代苯基。
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