[发明专利]阶梯状衍射光栅及光波导元件

权利要求书

1．一种阶梯状衍射光栅，由在基板及其表面上形成的1μm～1mm厚的有机聚硅氧烷膜构成，该有机聚硅氧烷膜上形成有多个具有1μm～500μm范围内的预定宽度和5～500μm范围内的预定高度的阶梯，上述有机聚硅氧烷膜以下述化学式(1)表示的二甲基硅氧烷和下述化学式(2)表示的苯基硅氧烷为主要成分，

(CH₃)₂SiO_2/2    …(1)

PhSiO_3/2           …(2)其中P是苯基或取代苯基。

2．如权利要求1所述的阶梯状衍射光栅，其中：上述有机聚硅氧烷膜含有的所述二甲基硅氧烷基和所述苯基硅氧烷类的比例为1摩尔二甲基硅氧烷对0.3～9摩尔的苯基硅氧烷。

3．如权利要求1或2所述的阶梯状衍射光栅，其中：上述阶梯的面是沿上述有机聚硅氧烷膜的主表面形成的。

4．如权利要求1或2所述的阶梯状衍射光栅，其中：上述阶梯的面是沿与上述有机聚硅氧烷膜的主表面垂直的方向形成的。

5．如权利要求1～4中任一项所述的阶梯状衍射光栅，其中：上述阶梯的高度适合使波长1.55μm和波长1.3μm中的任一个选择反射，或同时使这两种波长的光都选择反射。

6．一种光波导元件，该光波导元件在基板表面上设置具有1～30μm的高度和宽度、和沿上述基板表面延伸的长度的用来传输光的芯部，以及围绕上述芯部或夹在上述芯部和基板之间的包层部分，上述芯部和包层部分的至少一个包含以由下述化学式(1)表示的二甲基硅氧烷和下述式(2)表示的苯基硅氧烷为主要成分的有机聚硅氧烷：

(CH₃)₂SiO_2/2    …(1)

PhSiO_3/2             …(2)其中Ph是苯基或取代苯基。

7．如权利要求6所述的光波导元件，其中：上述有机聚硅氧烷膜的芯部和包层部分中的一个以由上述化学式(1)表示的二甲基硅氧烷和上述化学式(2)表示的苯基硅氧烷为主要成分。

8．如权利要求6所述的光波导元件，其中：上述有机聚硅氧烷膜的芯部和包层部分中的任何一个含有的所述二甲基硅氧烷类和所述苯基硅氧烷类的比例为1摩尔二甲基硅氧烷对0.3～9摩尔的苯基硅氧烷。

9．如权利要求8所述的光波导元件，其中：上述芯部和上述包层部分包含二甲基硅氧烷和苯基硅氧烷，关于相对于1摩尔二甲基硅氧烷的苯基硅氧烷摩尔数，上述芯部比上述包层部分至少多0.5摩尔。

10．如权利要求6～9中任一项所述的光波导元件，其中：上述芯部的折射率比上述包层部分的折射率大0.002～0.10。

11．一种光波导元件，该光波导元件在基板表面上设置具有1～30μm的高度和宽度、和沿上述基板表面延伸的长度的用来传输光的芯部，上述芯部以由下述化学式(1)表示的二甲基硅氧烷和下述式(2)表示的苯基硅氧烷为主要成分，且上述基板的折射率比上述芯部大，

(CH₃)₂SiO_2/2    …(1)

PhSiO_3/2           …(2)其中Ph是苯基或取代苯基。