[发明专利]晶片测试载架无效
申请号: | 00132698.8 | 申请日: | 2000-11-23 |
公开(公告)号: | CN1355559A | 公开(公告)日: | 2002-06-26 |
发明(设计)人: | 陈建智 | 申请(专利权)人: | 崇越科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘领弟 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种晶片测试载架。为提供一种保证测试准确性、使用方便、提高测试速度的半导体元件生产辅助装置,提出本发明,它包括设有周边凹设定位凹槽容置空间的基板、矩形端板、设有通孔的固定板、压板及枢设于基板上并设有卡板的盖板;矩形端板上设有嵌设接触面板的通孔,接触面板上、下表面上分别具有复数电性连接点及呈电性连通;固定板两侧对边处分别设置固定座及凸边;压板下方对称设置四橡皮条。 | ||
搜索关键词: | 晶片 测试 | ||
【主权项】:
1、一种晶片测试载架,它包括基板;其特征在于所述的基板下方设有端板,于基板上方依序设有固定板、压板及盖板;矩形端板上设有通孔,于通孔内嵌设由导电软性材质构成的接触面板,其表面上具有复数电性连接点,接触面板表面下方呈电性连通;基板中央处开设有容置空间,于容置空间四周侧边处上方凹设定位凹槽;固定板中央处开设有通孔,固定板两侧对边处分别设置固定座及凸边;盖板一端与固定板的固定座相对应并枢接,其另一端边处固设与固定板凸边相对应并卡扣的卡板;压板下方对称设置四分别与基板容置空间四周定位凹槽相对应并定位于其内的橡皮条。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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