[发明专利]电容压力传感器

摘要

一种电容压力传感器,包括下晶片和上晶片、固定电极、第一和第二垫板、可动电极和多个抽提电极。下晶片具有第一电容形成区域(其上形成固定电极)和第一垫板形成区域(其上形成第一垫板,且通过第一接线与固定电极连通)。上晶片具有第二电容形成区域(其上形成可动电极)和第二垫板形成区域(其上形成第二垫板,且通过第二接线与可动电极相边连)。抽提电极与第一和第二垫板连接,且从下晶片的通孔中抽出。而且上、下晶片粘在一起并覆盖垫板形成区域。

主权项

1．一种电容压力传感器，其特征在于包括：-第一基础件(2)，其具有第一主凹槽(2a)和与第一主凹槽连通的第一副凹槽(2b)；-第二基础件(3)，其具有和所说第一主凹槽一起构成一电容腔的第二主凹槽(3a)，和与所说第二主凹槽连通的第二副凹槽(3b)，所说第二主凹槽具有构成一膜片的底表面；-固定电极(5)，形成在所说第一主凹槽的底表面上；-第一垫板(6)，在所说第一副凹槽的底表面上形成，并且通过第一内部连接(5a)与所说固定电极连接；-可动电极(7)，在所说第二主凹槽的底表面上形成，从而与所说固定电极相对；-第二垫板(8)，在所说第二副凹槽中形成，并且通过第二内部连接(7a)与所说可动电极连接；和多个抽提电极(4)，其与所说第一和第二垫板连接并且穿过在所说第一基础件中形成的通孔(10)向外抽出；其中所说第一和第二基础件相互粘接在一起，以利用所说第二和第一基础件的粘接表面覆盖所说第一和第二副凹槽。