[发明专利]新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法无效
| 申请号： | 00105125.3 | 申请日： | 2000-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1315656A | 公开（公告）日： | 2001-10-03 |
| 发明（设计）人： | 高福斌;张平;刑汝冰;金锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法。本发明由光源、透镜、信号处理、硅基片、样品窗口、光波导薄膜、棱镜和光波导衬底组成,本发明采用的制备方法将棱镜制备于光波导薄膜下表面,用棱镜－光波导结构取代光栅－光波导结构,提高了耦合效率和色散能力;造价低、应用范围大;杂散光干扰少,光谱分辨率高;本发明是一种小型化、集成化、便于携带和高灵敏度的光谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 集成 结构 光谱仪 及其 组件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法，它包括：光源1、聚焦透镜2、3、光谱信号处理系统4，其特征在于：集成光路组件包含硅基片5、样品窗口6、光波导薄膜7、棱镜8、9和光波导衬底10，硅基片5与光波导薄膜7的上表面固定接触，在硅基片5中部开有样品窗口6，棱镜8、9底面与光波导薄膜7的下表面固定接触，光波导衬底10的上表面与光波导薄膜7的下表面固定接触、光波导衬底10的两端分别与棱镜8、9的侧面固定接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00105125.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
