[发明专利]钛酸锶晶体管无效
| 申请号： | 00100366.6 | 申请日： | 2000-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN1129965C | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吕惠宾;戴守愚;陈凡;赵彤;陈正豪;周岳亮;王焕华;何萌;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01L29/12 | 分类号： | H01L29/12;H01L29/70;H01L21/328 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子学晶体管技术领域。本发明将掺杂的n型和p型钛酸锶薄膜材料进行叠层外延在一起，形成p-n结、p-n-p结、n-p-n结或多结结构，构成钛酸锶晶体二极管、三极管、多基极三极管或多发射极三极管。本发明提供的钛酸锶晶体管工艺简单，结面更锐，稳定性好，故钛酸锶晶体管将成为一种广泛应用的电子器件，亦可发展成为钛酸锶集成电路。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸锶 晶体管 | ||
【主权项】：
1、一种钛酸锶晶体管，其特征在于：在SrTiO3或Nb：SrTiO3单晶基片上将掺杂而成的p型和n型钛酸锶薄膜材料叠层外延在一起，形成p-n结、p-n-p结、n-p-n结或多结结构，即形成钛酸锶晶体二极管、晶体三极管、多基极晶体三极管、多发射极晶体三极管；其中n型钛酸锶为SrAxTi1-xO3或Sr1-xLaxTiO3，A是Nb或Sb；p型钛酸锶为SrBxTi1-xO3，B是In或Mn；x取值范围为0.005-0.5。
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