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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有加热器的半导体处理装置-CN202211596083.6在审
发明人： S.克迪亚;D.南德瓦纳;K.范德如里奥;T.R.邓恩;J.L.温克勒 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本公开涉及半导体沉积反应器歧管的实施例，该半导体沉积反应器歧管可用于使用诸如原子层沉积(ALD)的过程来沉积半导体层。该半导体沉积反应器歧管包括加热器块，加热器元件安装在歧管体上。有利地，加热器块可拆卸地安装，以便于更换。
具有加热器半导体处理装置

[发明专利]具有晶片边缘吹扫的半导体处理设备-CN202211677263.7在审
发明人： R.雷恩;H.特霍斯特;E.J.希罗;A.金蒂;J.L.温克勒;M.施莫策;S.张;T.R.邓恩;S.加格 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种半导体处理装置，包括基座组件，该基座组件包括配置成支撑晶片的晶片支撑件。该晶片支撑件包括：晶片支撑件主体，配置成支撑晶片；吹扫通道，从晶片支撑件主体的内部横向延伸到晶片支撑件主体的外部；第一增压通道，设置在晶片支撑件主体的外部并与吹扫通道流体连通；出口，将吹扫气体输送到晶片的边缘，该出口与第一增压通道流体连通；在与晶片支撑件主体相对的表面上的吹扫气体供应孔。吹扫气体供应孔与吹扫通道流体连通，并且多个第一吹扫孔与第一增压通道和吹扫通道流体连通。
具有晶片边缘半导体处理设备

[发明专利]用于反应器系统的密封系统-CN202211030917.7在审
发明人： T.菲茨杰拉德;R.雷恩;J.温克勒;A.金蒂;T.R.邓恩 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种反应室可以包括封闭在反应室内的反应室容积；基座，配置成支撑设置在反应室容积中的衬底；在反应室容积内，基座上方的反应空间和基座下方的下室空间；和/或使反应空间和下室空间至少部分流体分离的密封系统。密封系统可以包括围绕并耦合到基座的隔板；和/或耦合到隔板和基座的弹簧，该弹簧具有朝向压缩位置或延伸位置的弹簧偏压，使得弹簧偏压有助于在隔板和基座之间产生至少部分密封，当基座在反应室内上下移动时，引起反应空间和下室空间之间的至少部分流体分离。
用于反应器系统密封

[发明专利]用于反应器系统的激光器对准夹具-CN202110520955.X在审
发明人： S.甘古力;T.R.邓恩;A.金蒂 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种用于反应器系统的激光器对准夹具，可以用于对准反应器系统的部件以允许将薄膜均匀沉积到衬底上。激光器对准夹具可以包括：盖组件；以及多个激光器和传感器组件。激光器对准夹具可以对准至少：流动控制环、基座，以及反应器系统的侧壁。
用于反应器系统激光器对准夹具

[发明专利]用于反应器系统的对准夹具-CN202110212189.0在审
发明人： S.甘古利;T.R.邓恩;A.金蒂 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种用于反应器系统的对准夹具可包括：夹具主体，所述夹具主体包括至少部分地限定包括所述夹具主体的内空间的形状的内周边，其中所述内空间构造成接收反应器系统的基座；和/或测量突起，所述测量突起在第一位置处联接到所述夹具主体并且从所述夹具主体朝所述内空间突出。所述测量突起可包括在所述夹具主体与所述测量突起的测量突起端之间的指示器。
用于反应器系统对准夹具

[发明专利]有通道的举升销-CN202011548209.3在审
发明人： R.辛古;D.南德瓦纳;T.R.邓恩;S.斯瓦米纳坦;B.佐普;C.L.怀特 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种反应器系统可包括：反应室，其由室侧壁封闭；以及基座，其在所述反应室中设置在包括于所述反应室中的反应空间与下室空间之间。所述基座可包括销孔，所述销孔被设置成穿过所述基座，使得所述销孔与所述反应空间和所述下室空间流体连通，并且使得所述反应空间与所述下室空间流体连通。举升销可以设置在所述销孔中。所述举升销可包括销主体，所述销主体包括由销通道表面限定的销通道，所述销通道设置在所述销主体中，使得当所述举升销设置在所述销孔中时，所述反应空间与所述下室空间流体连通。
通道举升销

[发明专利]具有汲取管的化学源容器-CN202010330995.3在审
发明人： A.M.耶德纳克三世;T.R.邓恩 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：公开了一种化学容器，所述化学容器包括布置在结合到化学容器的壳体中的细长沉孔中的汲取管和液位传感器管。化学容器可以构造成允许进行推回程序，由此化学容器中的液体液位降低到汲取管在汲取管内部或汲取管底部处没有液体的点。一旦汲取管没有液体，则可使用真空源来吹扫化学容器内的蒸气，而没有损坏真空源的风险。
具有汲取化学容器

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