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[发明专利]用于测量分析气体的浓度的气体传感器-CN201880057529.3有效
发明人： R·米勒;T·S·弗赖 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-08-16 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01N27/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体传感器，该气体传感器用于基于热传导原理测量分析气体的浓度，该气体传感器具有：布置在第一膜片上的、用于加热所述分析气体的至少一个分析加热元件；布置在第二膜片上的、用于加热参考气体的参考加热元件；用于测量所述分析加热元件的由所述分析气体引起的、相对于所述参考加热元件的电阻而言的阻抗变化的至少一个分析处理电子部件，其中，所述第一膜片和所述第二膜片彼此相邻地布置在传感器衬底中，并且其中，通过在一侧布置在所述传感器衬底上的基座衬底能够在所述第一膜片和所述基座衬底之间形成测量容积并且在所述第二膜片和所述基座衬底之间形成参考容积。
用于测量分析气体浓度传感器

[发明专利]用于压力传感器的传感器元件-CN201680067483.4有效
发明人： R·菲克斯;M·米奇克;S·策林格;T·S·弗赖;Z·莱什詹;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-14 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于压力传感器的传感器元件(100)，具有：‑传感器膜片(10)，在该传感器膜片上布置有限定数量的压阻(R1...Rn)，其中，所述压阻(R1...Rn)这样布置在电路中，使得在压力变化的情况下能够产生电压变化；‑至少两个温度测量元件(T1...Tn)，所述温度测量元件关于所述传感器膜片(10)这样布置，使得通过所述温度测量元件(T1...Tn)能够测量所述传感器膜片(10)在所述压阻(R1...Rn)的位置处的温度，其中，由于温度梯度而作用在所述压阻(R1...Rn)的电路上的电压能够通过所测量的温度在计算方面补偿。
用于压力传感器传感器元件

[发明专利]用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件-CN201980033152.2在审
发明人： R·米勒;T·S·弗赖 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G01N27/18 文献下载
摘要：本发明公开一种用于制造至少一个用于量热探测气体的微机械的传感器的膜片装置的方法，其中：提供晶片状的衬底；将至少一个参考容积在形成至少局部覆盖参考容积的参考膜片的情况下通过表面或容积微机械工艺由前侧引入晶片状的衬底中；将至少一个与至少一个参考容积相邻的测量容积由晶片状的衬底的背侧或前侧在形成测量膜片的情况下引入衬底中；将晶片状的盖衬底施加到晶片状的衬底的前侧上。此外还公开一种膜片装置和构件。
用于制造至少一个膜片装置方法微机传感器构件

[发明专利]用于传感器的微加热设备以及传感器-CN201610090396.2有效
发明人： H·格鲁特杰克;H·韦伯;R·菲克斯;I·西蒙;T·S·弗赖;R·M·哲尔菲 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-02-18 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于传感器的微加热设备，所述微加热设备具有：衬底；膜片，其中，所述膜片的覆盖区域至少部分跨越由所述衬底至少部分包围的空腔并且所述膜片的至少一个边缘区域直接或间接地固定在所述衬底的表面上；至少一个布置在所述膜片上和/或中的加热线路，所述至少一个加热线路至少具有各至少一个布置在所述覆盖区域上和/或中的散热区段、各一个布置在所述覆盖区域上和/或中的第一输送线路区段和各一个布置在所述覆盖区域上和/或中的第二输送线路区段；其中，所述第一输送线路区段的第一宽度从由所述第一输送线路区段接触的散热区段出发直至由所述第一输送线路区段接触的边缘区域地增大。本发明同样涉及一种传感器。
用于传感器加热设备以及