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- [发明专利]用于照射衬底的运行方法和装置-CN201480032159.X有效
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J.韦伯;S.利诺夫;O.魏斯
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贺利氏特种光源有限责任公司
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2014-05-26
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2019-06-04
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H01L21/67
- 公知的用于运行用于通过用红外辐射进行照射来对衬底进行改性的装置的方法,该装置具有照射单元,在该照射单元中综合有多个具有彼此平行布置的纵轴的圆柱形红外辐射器,该方法包括下列方法步骤:a)根据衬底的要实现的改性预先给定总照射功率;(b)以相应的额定运行功率运行红外辐射器。为了由此出发说明一种有效的、使得能够以新的运行方式简单和快速地换装该装置并同时使得能够简单和成本适宜地运行该装置的运行方法,根据本发明提出:(c)根据衬底的要实现的改性预先给定额定辐射谱;(d)并且个别化地选择红外辐射器的相应的额定运行功率,使得由所述额定运行功率相加得出额定辐射谱和总照射功率;(e)所依照的准则是:红外辐射器是相同构造的,并且总照射功率与预先给定的额定值相差最大15%。
- 用于照射衬底运行方法装置
- [发明专利]用于干燥和烧结在基质上的含有金属的墨水的装置-CN201480024890.8有效
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H.齐辛格;J.韦伯;S.利诺夫;O.魏斯
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贺利氏特种光源有限责任公司
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2014-04-10
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2018-12-11
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H05K3/12
- 本发明涉及一种用于干燥和烧结在基质上的含有金属的墨水的已知的装置具有用于辐射基质的光学的多个辐射器和用于将辐射反射到基质上的反射器。在此,辐射器和基质在传输方向上能够彼此相对运动。为了基于此来说明用于干燥和烧结含有金属的墨水的高效的装置,该装置实现了基质的均匀的辐射,该装置具有紧凑的结构形式且还可以简单和在花费上有利地制造,则根据本发明提出的是,光学的辐射器是带有柱筒状的辐射器管和辐射器管纵轴线的红外辐射器,该红外辐射器发射带有总辐射器功率的至少30%的IR‑B辐射的辐射份额和总辐射器功率的至少5%的IR‑C辐射的辐射份额的辐射且所述红外辐射器如此地布置在辐射器模块中,即其辐射器管纵轴线彼此平行地且横向于传输方向走向,且在此在基质的表面上如此地辐射辐射区域,从而该辐射区域分为干燥区以及在传输方向上观察被后置于干燥区的烧结区,其中干燥区沿着在传输方向上走向的中轴线所经受的平均辐射密度相比于烧结区所经受的平均辐射密度小了至少15%。
- 用于干燥烧结基质含有金属墨水装置
- [发明专利]用于辐射基片的装置-CN201380038694.1有效
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S.利诺夫;L.冯里维尔
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贺利氏特种光源有限责任公司
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2013-07-17
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2018-08-03
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H01L21/67
- 用于辐射基片的已知的装置具有壳体以及在壳体内部具有用于有待辐射的基片的带有圆形辐射面的容纳部以及用于产生光辐射的具有布置在平行于辐射面延伸的弯曲平面中的带有辐射管端部的第一辐射管的第一辐射器,其中容纳部和第一辐射器可以相对于彼此运动。在该装置中,所述辐射面包括半圆形的第一部分面和半圆形的第二部分面。为了由此出发说明一种用于辐射基片的装置,该装置实现了基片的旋转对称均匀的温度分布并且还需要极少的结构以及控制技术的花费,按本发明提出,所述第一辐射管具有弯曲的照射长度段,该照射长度段在弯曲平面内以镜像对称的椭圆形的基本形状延伸,其中,第一照射长度段基本上配属于所述半圆形的部分面之一。
- 用于辐射装置
- [发明专利]用于辐照衬底的设备-CN201380016519.2有效
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S.利诺夫;L.冯里韦尔
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贺利氏特种光源有限责任公司
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2013-01-18
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2017-09-15
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H01L21/67
- 已知的用于辐照衬底的设备具有用于待辐照的衬底的带有圆形辐照面的容纳部和带有至少一个布置在平行于辐照面走向的照明平面中的辐射器管的第一光辐射器。辐射器管的照明长度包括一个中部区段和两个端部区段,其中中部区段的长度总计为照明长度的至少50%。容纳部和光辐射器能够相对于彼此移动。为了由此为出发点说明一种用于对衬底进行热处理的设备,该设备能够实现对衬底的均匀或旋转对称的加热并且该设备此外需要低的设计和控制技术费用,根据本方法提出假如辐射器管的照明长度在小于2π的弧角之上延伸,则辐射器管在中部区段中具有连续减小的弯曲。
- 用于辐照衬底设备
- [发明专利]用于辐射植物的辐射装置-CN201380064192.6无效
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O.魏斯;S.利诺夫
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贺利氏特种光源有限责任公司
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2013-12-06
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2015-12-09
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A01G7/04
- 已知的用于对植物(3)进行辐射的辐射装置(1)具有确定种植平面(E)的用于培育植物的承载元件(2)、多个用于以可见和/或紫外射线(5)对植物进行辐射的辐射源(4a、4b、4c)以及多个用于以红外射线(6)对植物进行辐射的红外辐射器(8)。为了由此出发说明一种用于辐射植物的辐射装置,其除了用紫外和/或可见射线对植物进行辐射之外还确保了用红外射线对植物进行均匀的辐射,并且此外其还关于种植平面需要较少数量的红外辐射器,按本发明提出,红外辐射器的设计温度为800℃到1800℃并且分别具有柱形的带有50mm到500mm范围内的辐射器管长度的辐射器管(303),并且所述辐射器管相互平行地在种植平面E上方的辐射器区域(Z)中延伸,其中关于种植平面的面积的红外辐射器分布密度在0.2m-2和1.0m-2之间的范围内,并且相邻的红外辐射器在种植平面上的辐射区域重叠,使得种植平面上的平均辐射强度在10瓦/m2和100瓦/m2之间,具有最大50%的波动范围,并且为辐射器管的上侧分配了面对结构空间(B)的反射器(302)。
- 用于辐射植物装置
- [发明专利]辐射装置-CN201180055584.7有效
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S.利诺夫
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贺利氏特种光源有限责任公司
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2011-10-31
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2013-09-04
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H01K1/38
- 通常的辐射装置拥有壳体(5),该壳体具有内部空间和布置在所述内部空间中的红外线辐射器(1)。所述红外线辐射器(1)具有由含高硅酸的玻璃制成的拥有圆形横截面和预先给定的外直径的辐射器管(2),具有布置在其中的带状的或者螺旋状的加热丝(3),所述加热丝设有由金属的材料制成的电的连接元件(4),所述电的连接元件通过密封件(13)从所述辐射器管(2)中伸出来。辐射器管端部(8)的至少一个辐射器管端部延伸到外部空间中,所述外部空间通过在外面抵靠在所述辐射器管(2)上的密封元件(11)在流体上与所述内部空间分开。为了以此为出发点说明一种具有一拥有较长的使用寿命和潜在的较高的功率的红外线辐射器的辐射装置,该辐射装置此外适合于被将不同的介质、温度或者压力的区域分开的密封件所围住,按照本发明建议,所述辐射器管端部(8)也具有所述圆形横截面以及所述预先给定的外直径,并且在所述电的连接元件(4)与所述辐射器管(2)之间设置了密封件(13),该密封件包括至少一种转换玻璃,所述转换玻璃具有处于所述金属的材料的热膨胀系数与所述含高硅酸的玻璃的热膨胀系数之间的热膨胀系数。
- 辐射装置
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