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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于提供宽带光源的方法和装置-CN202180086934.X在审
发明人： P·S·尤贝尔;W·R·庞杰斯;S·T·鲍尔施米特;P·M·格茨;L·范登奥特拉 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：一种辐射源，用于生成宽带辐射，并且包括：泵浦源，该泵浦源仅包括一个单光纤放大器，该泵浦源被配置辐射，泵浦辐射包括具有2.5μJ或小于2.5μJ的脉冲能量的多个辐射脉冲；以及中空纤芯光纤，包括中空纤芯区域和围绕中空纤芯区域的包层，中空纤芯区域中具有加压气体，并且中空纤芯光纤被设置为在输入端处接收泵浦辐射，其中中空纤芯区域的尺寸被设定为使得辐射脉冲具有高于16的孤子阶数，以便在泵浦辐射沿着中空纤芯光纤传播时，使用调制不稳定性来展宽泵浦辐射的光谱，以用于从中空纤芯光纤的输出端提供输出宽带辐射。
用于提供宽带光源方法装置

[发明专利]频率拓宽装置和方法-CN202310648245.4在审
发明人： P·S·尤贝尔;S·T·鲍尔施米特;P·W·斯科尔斯-范埃克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：本公开涉及一种频率拓宽装置和方法。一种装置(100)，用于接收输入辐射(108)并且拓宽输入辐射的频率范围以便提供宽频带输出辐射(110)。该装置包括光纤(102)，其中光纤(102)可以包括用于引导辐射传播通过光纤(102)的空芯(104)。装置(100)还包括用于在空芯(104)内提供气体混合物(106)的装置。气体混合物(106)包括氢组分和工作组分，其中工作组分用于拓宽接收到的输入辐射(108)的频率范围以便提供宽频带输出辐射(110)。该装置可以被包括在辐射源中。
频率拓宽装置方法

[发明专利]频率拓宽装置和方法-CN202080024153.3有效
发明人： P·S·尤贝尔;S·T·鲍尔施米特;P·W·斯科尔斯-范埃克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G02F1/355 文献下载
摘要：一种装置(100)，用于接收输入辐射(108)并且拓宽输入辐射的频率范围以便提供宽频带输出辐射(110)。该装置包括光纤(102)，其中光纤(102)可以包括用于引导辐射传播通过光纤(102)的空芯(104)。装置(100)还包括用于在空芯(104)内提供气体混合物(106)的装置。气体混合物(106)包括氢组分和工作组分，其中工作组分用于拓宽接收到的输入辐射(108)的频率范围以便提供宽频带输出辐射(110)。该装置可以被包括在辐射源中。
频率拓宽装置方法

[发明专利]用于宽带辐射生成的基于空芯光子晶体光纤的光学部件-CN202080074507.5在审
发明人： P·S·尤贝尔;P·M·格茨;S·T·鲍尔施米特;C·H·M·巴尔蒂斯;J·拉文斯贝根 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：公开了光学部件及其制造方法。第一光学部件包括空芯光子晶体光纤，该空芯光子晶体光纤包括用于引导辐射的内部毛细管和包覆该内部毛细管的外部毛细管；以及至少一个输出端区段，该至少一个输出端区段在所述输出端区段的至少一部分上的内径大于沿着空芯光子晶体光纤的在输出端区段之前的中心部分的外部毛细管的内径。第二光学部件包括空芯光子晶体光纤和套管装置。
用于宽带辐射生成基于光子晶体光纤光学部件

[发明专利]辐射源-CN202080053049.7在审
发明人： P·S·尤贝尔;S·T·鲍尔施米特;Y·倪 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G02F1/3513 文献下载
摘要：一种辐射源，包括：中空芯光纤，工作介质；以及脉冲泵浦辐射源。该中空芯光纤包括主体并且具有中空芯。该工作介质被设置在该中空芯内。脉冲泵浦辐射源被布置为产生脉冲泵浦辐射，该脉冲泵浦辐射由中空芯接收并且从输入端传播通过中空芯至输出端。脉冲泵浦辐射、光纤和工作介质的参数被配置为允许脉冲泵浦辐射的孤子自压缩，以改变脉冲泵浦辐射的光谱，以便形成输出辐射。在一些实施例中，光纤的长度使得输出端基本上与脉冲泵浦辐射的时间范围为最小的位置重合。
辐射源

[发明专利]光纤-CN202080026916.8在审
发明人： P·S·尤贝尔;S·T·鲍尔施米特;P·M·格茨 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：提供了一种光纤、用于接收输入辐射并且加宽频率范围的设备、辐射源、计量布置和光刻设备。所述光纤包括空芯、包层部分和支撑部分。所述包层部分包围所述空芯，并且包括用于引导辐射通过所述空芯的多个反谐振元件。所述支撑部分包围并支撑所述包层部分，并且包括内支撑部分、外支撑部分和将所述内支撑部分连接至所述外支撑部分的可变形连接部分。
光纤

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