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[发明专利]可显影的底部抗反射涂层形成用组合物-CN201280061706.8有效
发明人：中杉茂正;山本和磨;秋山靖;宫崎真治;M·帕德马纳班;S·查克拉帕尼 -专利权人：默克专利有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明提供了一种底部抗反射涂层形成用组合物，并且还提供了一种采用所述组合物的光致抗蚀剂图案形成方法。所述组合物提供了在制造半导体器件的光刻工艺中使用的底部抗反射涂层，并且所述涂层可以使用光致抗蚀剂用显影液进行显影。所述组合物含有溶剂、具有稠合多环芳香族基团的聚合物以及具有马来酰亚胺衍生物或马来酸酐衍生物的化合物。所述组合物可以进一步含有光酸产生剂或交联剂。
显影底部反射涂层形成组合

[发明专利]底层抗反射涂料组合物及其方法-CN201280027792.0有效
发明人：工藤隆范;A·D·迪奥塞斯;E·W·恩格;S·查克拉帕尼;M·帕德马纳班 -专利权人：默克专利有限公司
申请日： 2012-06-05 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C09D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及抗反射涂料组合物，包含交联剂、含有至少一个发色团基团和至少一个羟基和/或羧基基团的聚合物、和添加剂，进一步地其中该添加剂具有结构(1)并包含至少一个亚芳基‑羟基部分，其中Y选自羧酸根阴离子或磺酸根阴离子，R1、R2和R3独立地选自未取代的C1‑C8烷基、取代的C1‑C8烷基、芳基和亚芳基‑羟基；X1、X2和X3独立地选自直接价键和C1‑C8亚烷基，且n=1、2或3。本发明进一步涉及使用该组合物的方法。
底层反射涂料组合及其方法

[发明专利]用于形成悬浮颗粒装置用薄膜的乳化剂及提高悬浮颗粒装置乳液和薄膜特性的方法-CN201110351450.1无效
发明人： S·查克拉帕尼;R·L·萨克斯;S·M·斯洛瓦克 -专利权人：尖端研究公司
申请日： 2006-06-21 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：用于形成悬浮颗粒装置用薄膜的乳化剂及提高用于形成悬浮颗粒装置用薄膜的乳液的稳定性的方法和降低用于形成悬浮颗粒装置用薄膜的乳液中液体悬浮介质液滴的聚集的方法以及提高悬浮颗粒装置用薄膜性能特征的方法，其中所述薄膜含有其中分布有许多液体光阀悬浮物液滴的交联基质聚合物。所述乳化剂由含有至少第一链段和第二链段的共聚物材料形成，所述链段在它们的化学亲合性、它们的组成和它们的极性中的至少一者上彼此不同。调整乳化剂以通过延缓液滴的生长来基本防止形成薄膜期间液体光阀悬浮物液滴聚集。
用于形成悬浮颗粒装置薄膜乳化剂提高乳液特性方法

[发明专利]正性作用的可光成像底部抗反射涂层-CN200980161858.3无效
发明人： R·R·达梅尔;S·查克拉帕尼;M·帕德马纳班;宫崎真治;E·W·额;工藤隆范;A·D·迪奥赛斯;F·M·霍利亨 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2009-11-12 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：本发明涉及正性底部可光成像抗反射涂料组合物，其能在含水碱性显影剂中显影，其中该抗反射涂料组合物包含聚合物，该聚合物包含至少一种具有发色团的重复单元以及一种具有羟基和/或羧基的重复单元，结构(7)的乙烯基醚封端交联剂，还任选，光致酸产生剂和/或酸和/或热致酸产生剂，其中结构(7)是，其中W选自(C1-C30)直链、支链或者环状的烷基组成部分，取代的或者未被取代的(C3-C40)脂环烃组成部分以及取代的或者未被取代的(C3-C40)环烷基亚烷基组成部分；R选自C1-C10直链或者支链亚烷基以及n＞2。本发明还涉及使用上述组合物的方法。
作用成像底部反射涂层

[发明专利]正作用可光致成像底部抗反射涂层-CN200980161200.2有效
发明人： M·帕德马纳班;S·查克拉帕尼;F·M·胡里汉;宫崎真治;E·W·恩格;M·O·奈瑟 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2009-11-12 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：本发明涉及能够通过在碱性水溶液中显影而形成图案的可光致成像抗反射涂料组合物，其包含(i)可溶于涂覆溶剂并包含发色团、交联性结构部分和任选的可断裂基团的聚合物A，该可断裂基团在酸或热条件下产生有助于所述聚合物在碱性水溶液中的溶解性的官能团；和(ii)至少一种光酸产生剂；(iii)交联剂；(iv)任选的热酸产生剂；(v)在显影之前可溶于碱性水溶液的聚合物B，其中聚合物B与聚合物A是非溶混性的并且聚合物B可溶于涂覆溶剂，和(vi)涂覆溶剂组合物，和(vii)任选的猝灭剂。本发明还涉及使所述抗反射涂层成像的方法。
作用可光致成像底部反射涂层

[发明专利]光敏性组合物-CN200980147193.0无效
发明人： E·W·恩格;N·M·菲利克斯;M·帕德马纳班;S·查克拉帕尼 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2009-12-01 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及新型光敏性组合物，其包含a)有机聚合物，b)结构(1)的光碱产生剂，和c)任选地，光酸产生剂，(⁺A₁^-O₂C)-B-(CO₂^-A₂⁺)_X，其中A₁⁺和A₂⁺独立地是阳离子，x是大于或等于1的整数，B是非氟化烃结构部分。所述光敏性组合物可以用作光致抗蚀剂组合物或用作碱可显影抗反射底层涂料组合物。
光敏组合

[发明专利]用于光致抗蚀剂组合物的聚合物-CN200880104250.2有效
发明人： S·查克拉帕尼;M·帕德马纳本;M·迪亚加拉詹;工藤隆范;D·L·伦特奇维茨 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2008-08-22 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： C08F220/26 文献下载
摘要：一种聚合物，它包含(i)两个或更多个选自以下的重复单元其中R₆₁、R₆₂、R₆₃和R₆₅中的每一个单独地选自氢或C_1-4烷基；R₆₄是C_1-4烷基；和(ii)至少一种附加的选自以下的重复单元其中R₆₁、R₆₂、R₆₃、R₆₄和R₆₅各自单独地选自氢或C_1-4烷基，n是0-3的数，可用作光致抗蚀剂组合物的组分。
用于光致抗蚀剂组合聚合物

[发明专利]可用于光致抗蚀剂组合物中的聚合物和其的组合物-CN200880002430.X无效
发明人： M·帕德马纳班;S·查克拉帕尼;R·R·达梅尔 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2008-01-15 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： C08F220/28 文献下载
摘要：本申请涉及具有右式的聚合物，其中R₃₀、R₃₁、R₃₂、R₃₃、R₄₀、R₄₁、R₄₂、jj、kk、mm和nn如本文中所述。该化合物可用于形成光致抗蚀剂组合物。
用于光致抗蚀剂组合中的聚合物

[发明专利]光致抗蚀剂组合物-CN200880004361.6无效
发明人： M·派德马纳班;S·查克拉帕尼 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2008-02-06 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本申请涉及包含以下组分的组合物：a)含酸不稳定基团的聚合物；b)选自(i)、(ii)和它们的混合物的化合物，其中(i)是Ai Xi Bi，(ii)是Ai Xi1；和c)通式Ai Xi2的化合物，其中Ai、Bi、Xi、Xi1和Xi2在本文中进行了限定。该组合物可用于半导体工业。
光致抗蚀剂组合

[发明专利]光活性化合物-CN200780044792.0有效
发明人： M·帕德马纳班;S·查克拉帕尼;M·D·拉曼 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2007-12-03 - 公布日： 2009-09-30 - 主分类号： C07C381/12 文献下载
摘要：本申请涉及一种式Ai Xi的化合物，其中Ai是有机鎓阳离子；和Xi是式X-CF₂CF₂OCF₂CF₂-SO₃^-的阴离子。该化合物可用作光活性材料。Ai选自式(I)和Y-Ar，其中Ar选自式(II)，萘基，或蒽基；Y选自式(III)，式(IV)和式(V)。
活性化合物

[发明专利]提高悬浮颗粒装置乳液和薄膜特性的材料和方法-CN200680023560.2无效
发明人： S·查克拉帕尼;R·L·萨克斯;S·M·斯洛瓦克 -专利权人：尖端研究公司
申请日： 2006-06-21 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： C08F30/08 文献下载
摘要：用于形成悬浮颗粒装置用薄膜的乳化剂，其中所述薄膜含有其中分布有许多液体光阀悬浮物液滴的交联基质聚合物。所述乳化剂由含有至少第一链段和第二链段的共聚物材料形成，所述链段在它们的化学亲合性、它们的组成和它们的极性中的至少一者上彼此不同。所述链段的第一链段在用于形成薄膜的未固化液体基质聚合物中是可溶的，但是在液滴分散的液体悬浮介质中不可溶。第二链段在液滴分散的液体悬浮介质中是可溶的，但在未固化液体基质聚合物中不可溶。第一链段和第二链段具有基本相同的折光指数，且所述链段的折光指数为在用该乳化剂形成的乳液的各相的折光指数的0.010倍之内。在一种实施方式中，第一链段含有选自由直链有机硅氧烷、支链有机硅氧烷、直链烷基、支链烷基、直链氟烷基和支链氟烷基组成的组中的物质。接下来，第二链段含有选自由直链酯、支链酯、直链(甲基)丙烯酸酯、支链(甲基)丙烯酸酯、直链酰胺、支链酰胺、直链胺、支链胺、直链环氧基、支链环氧基、含有羟基或酸基的直链基团以及含有羟基或酸基的支链基团组成的组中的物质。调整乳化剂以通过延缓液滴的生长来基本防止形成薄膜期间液体光阀悬浮物液滴聚集。
提高悬浮颗粒装置乳液薄膜特性材料方法

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